كيفية تقليل التلوث بالزيت في مضخات نشر الفراغ العالية-.

1. ميزات التصميم وحلول الأجهزة (الأهم)

قم بتركيب حاجز أو مظلة من نوع-مصيدة الزيت
يساعد حاجز على شكل متاهة- بين مخرج مضخة الانتشار وغرفة التفريغ على منع بخار الزيت من الانتقال مباشرة إلى الغرفة.

استخدم المصيدة الباردة (الحل الأكثر فعالية)
يتم وضع مصيدة باردة فوق المضخة لتكثيف بخار الزيت قبل أن يصل إلى الغرفة. يمكن توفير التبريد عن طريق النيتروجين السائل، أو الماء المبرد، أو نظام التبريد. هذه هي إحدى الطرق الأكثر فعالية لمنع التدفق العكسي.

حدد-سوائل مضخة انتشار الضغط المنخفض-البخار
استخدم زيوتًا عالية الجودة تعتمد على السيليكون-مثل سائل مضخة الانتشار Dow ​​Corning DC‑704 أو سائل مضخة الانتشار Dow ​​Corning DC‑705. تقلل سوائل ضغط البخار المنخفض بشكل كبير من خطر التلوث.

---

2. ممارسات التشغيل الجيدة (غالبًا ما يتم تجاهلها)

اتبع التسلسل الصحيح-لبدء التشغيل وإيقاف التشغيل
اسمح دائمًا لمضخة الانتشار بالوصول إلى درجة حرارة التشغيل قبل بدء الضخ الكامل. عند إيقاف التشغيل، قم بإيقاف تشغيل السخان أولاً واترك المضخة تبرد قبل إيقاف المضخة الأمامية. يمكن أن يؤدي الفقدان المفاجئ لضخ الخط الأمامي بينما تكون المضخة ساخنة إلى حدوث تدفق شديد للزيت.

لا تقم مطلقًا بتهوية المضخة عندما تكون ساخنة
يمكن أن يؤدي إدخال الهواء إلى مضخة الانتشار الساخنة إلى أكسدة زيت المضخة وتحلله بسرعة، مما ينتج عنه ملوثات ويزيد من خطر ترحيل الزيت.

الحفاظ على التبريد المستقر والكافي
يعد التدفق المناسب لمياه التبريد أمرًا ضروريًا. يقلل التبريد السيئ من كفاءة تكثيف البخار ويزيد من احتمالية هجرة بخار الزيت إلى أعلى المنبع.

---

3. الصيانة والرعاية الروتينية

استبدل زيت المضخة بانتظام
لا تنتظر حتى يصبح الزيت داكنًا أو لزجًا. يحتوي الزيت القديم على ضغط بخار أعلى وأكثر عرضة للتلوث والتدفق العكسي.

حافظ على نظافة الجزء الداخلي للمضخة
قم بتنظيف جسم المضخة ومجموعة النفاثات والحواجز بشكل دوري. يمكن إعادة احتجاز بقايا النفط ورواسبه-في تيار البخار.

الحفاظ على فراغ جيد للخط الأمامي
إذا كان ضغط المضخة الأمامية مرتفعًا جدًا، يصبح نفاث البخار غير مستقر، مما يزيد من تدفق الزيت إلى الخلف.

---

4. إجراءات متقدمة للتطبيقات فائقة النظافة-.

قم بتركيب -صمام عزل عالي للفراغ
يسمح الصمام الموجود بين الحجرة ومضخة الانتشار بعزل النظام بالكامل عندما لا تكون المضخة قيد الاستخدام، مما يمنع أي هجرة بخار الزيت.

استخدم مضخات خالية من الزيت-حيث تكون النظافة أمرًا بالغ الأهمية
بالنسبة لتطبيقات مثل معالجة أشباه الموصلات أو البصريات الدقيقة، تستبدل العديد من الأنظمة مضخات الانتشار بمضخات توربينية جزيئية، مثل تلك التي تنتجها شركة Pfeiffer Vacuum أو Edwards Vacuum، للقضاء على التلوث الزيتي تمامًا.